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无尘擦拭布的尘粒,离子,ESD测试方法

文章出处:未知 人气:发表时间:2019-12-25 10:49

无尘布的测试方法
用户主要通过擦拭布的材料、吸收率、清洁度和成本来评价无尘布。在半导体工业的洁净室中,对尘埃粒子、离子、静电放电等有很高的要求。无尘抹布。IEST-RP-CC004.3提供了一些评估无尘布的方法。 
无尘布应经过严格测试,以满足性能要求和污染控制标准。通常,无尘布应进行如下测试: 

▲ 抗磨损性测试

一般来说,耐磨性试验属于布料的物理性能试验。但是,在无尘布的测试中,磨损过程中会产生尘粒,所以将无尘布的耐磨性测试降低到污染控制范围更合适。
*测试标准:耐磨性越强,产生尘粒的可能性就越小。      
                                                            
▲ 基重
根据ASTM-D-3776测试无尘布单位面积的重量
*参考测试标准:一般要求在150-300g/m2

▲ 吸液量和吸液速度

根据IEST-RP-CC004.3第8节要求,需测试无尘布的吸收量和吸收速率。
吸液量反映的是单位面积的无尘布的吸收液体的毫升数。
吸液速率是指无尘布吸收10ml液体所需的时间。
以上两种测量都须测量三次并计算平均值。
*参考测试标准:吸液量一般不小于400g/m2,吸液速度一般不大于1秒。

▲ IC测试
根据IEST-RP-CC004.3第7.2节要求,定性定量地测量无机阴阳离子含量。
*参考测试标准,在磁头行业,一般要求CL-≤0.03ug/cm2; SO42-≤0.03ug/cm2; NO3-≤0.03ugcm2; Total:<1.0ug/cm2

▲ NVR测试
根据IEST-RP-CC004.3第7.1节要求,测试单位面积上的不挥发性残留物。
NVR测试是将无尘布浸泡于一定量的溶剂中一定量的时间,然后将无尘布取出,测试溶于溶剂中的不挥发性残留物的质量。
*参考测试标准:在磁头行业,一般要求<3.0ug/cm2

▲ LPC测试
根据IEST-RP-CC004.3第6.2.1节的要求,对无尘布进行LPC测试。
LPC可测试无尘布上的液态尘粒数。
LPC测试是将无尘布浸泡在一定量的DI水中,经过超声波振荡,检测DI水中的尘粒浓度。
*参考测试标准:在磁头行业,一般要求<30counts/cm2

▲ FTIR测试
傅立叶变化红外光谱测试
*参考测试标准:一般不允许有硅油、氨基化合物、增塑剂。

▲ GC测试
GC测试是用来分析无尘布上有机污染物种类和含量的一种方法。
*参考测试标准:在磁头行业,要求Total:<10ug